eVictor系列 12英寸物理气相沉积系统包罗大气平台、真空传输平台、去气腔室、预洗濯腔室以及工艺腔室，能够实现包罗金属栅极、金属硅化物、中段粘附与阻挡层、铜籽晶层与阻挡层等多种工艺，eVictor系列为全自动大产能装备，具有反映腔自动开闭盖，wafer自动传输，工艺去气，晶片外貌预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点，装备可同时知足较好的厚度匀称性和Rs匀称性。