eVictor系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由大气平台，真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，装备接纳Cluster Tool架构，可设置多个工艺腔室、预洗濯腔室和去气腔室，其中工艺腔室可凭证客户选择设置差异工艺质料的腔室。eVictor系列PVD装备具有反映腔自动开闭盖，wafer自动传输，工艺去气，晶片外貌预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点。