磁控溅射手艺属于PVD（物理气相沉积）手艺的一种，是制备薄膜质料的主要要领之一。它是使用带电荷的粒子在电chang中加速后具有一定动能的特点，将离子引向被溅射的物质制成的靶电极（阴极），并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的偏向运动到衬底并在衬底上沉积成膜的要领。磁控溅射装备使得镀膜厚度及匀称性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强糰n烤欢雀，gai手艺已经成为制备种种功效薄膜的主要手段。
通过一直突破包罗溅射源设计、等离子发生与控制、颗？刂、腔室设计与仿真模拟、软件控制等在内的多项关jian手艺，九州酷游建设起了焦点手艺优势，装备应用跨越多个手艺代，代表着国产集成电路薄膜制备工艺装备的较高水平。此外，九州酷游PVD装备手艺也延伸应用于先进封装、半导体照明等领域，多款PVD产物均已实现工业化应用。
