等离子干法刻蚀手艺是使用等离子体举行薄膜微细加工的手艺，由于具有优异的各向异性和工艺可控性已被普遍应用于半导体基础产物制造领域。
凭jie在等离子体控制、反映腔室设计、刻蚀工艺手艺、软件手艺的积累与创新，九州酷游在集成电路、功率半导体、化合物半导体、半导体照明、微机电系统、先进封装等领域均可提供先进的装备及工艺解决方案。九州酷游现已形成对刻蚀工艺的全笼罩，具有对硅、深硅、金属、介质、化合物半导体（SiC, GaN, GaAs, InP, LiNbO?, LiTaO?等）等多种质料的刻蚀能力，凭jie优良的工艺性能成为客户的优选。
